晶圓硅片切割劃片設(shè)備—晶圓激光切割機(jī)

發(fā)布人：創(chuàng)軒激光小軒發(fā)布時(shí)間：2022-07-21

【摘要】：

晶圓激光切割機(jī)采用非接觸式的切割方式，在晶圓表面無(wú)機(jī)械應(yīng)力，切割精度高，切皮秒紫外光源熱影響區(qū)域小，保證了切割邊緣光滑平整，無(wú)毛刺，效果美觀，切誤差率極低，次品率低。激光切割清潔度較高，大大提高了切割良品率，被廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓

晶圓又稱為硅晶片，是半導(dǎo)體行業(yè)中的常見(jiàn)材料，由于晶圓的各種不同應(yīng)用場(chǎng)景，晶圓的尺寸大小需要進(jìn)行加工，晶圓的切割劃片成為一到重要的工序。小編今天和大家介紹一款設(shè)備,一款可用于晶圓精細(xì)化切割打孔劃片的設(shè)備—晶圓激光切割機(jī)。

晶圓激光切割機(jī)又稱為紫外皮秒激光切割機(jī)，是一款超精細(xì)的微加工設(shè)備。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于晶圓的切割要求較高，傳統(tǒng)的金剛石砂輪劃片切割已經(jīng)滿足不了日益精細(xì)化的工藝要求，激光切割工藝逐漸流行，成為現(xiàn)在晶圓硅片切割打孔劃片的主流工藝。

晶圓硅片切割劃片設(shè)備—晶圓激光切割機(jī)

晶圓激光切割機(jī)采用非接觸式的切割方式，在晶圓表面無(wú)機(jī)械應(yīng)力，切割精度高，切皮秒紫外光源熱影響區(qū)域小，保證了切割邊緣光滑平整，無(wú)毛刺，效果美觀，切誤差率極低，次品率低。激光切割清潔度較高，大大提高了切割良品率，被廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控晶圓的劃線切割以及TVS晶圓的劃線切割。